半導體前道量檢測設備行業(yè)報告：重點產(chǎn)品持續(xù)突破，國產(chǎn)替代正在加速（國海證券研報）

每經(jīng)AI快訊，2024年1月18日，國海證券發(fā)布研報點評專用設備行業(yè)。

半導體量檢測設備市場空間廣闊

半導體行業(yè)需求回暖疊加中國大陸晶圓廠持續(xù)擴產(chǎn)，國內(nèi)半導體設備市場長期有望穩(wěn)健增長。質(zhì)量控制貫穿晶圓制造全過程，是芯片生產(chǎn)良率的關(guān)鍵保障，先進制程將對工藝控制水平提出更高要求，量檢測設備價值量有望倍增。我們測算，2023/2024/2025/2026年全球半導體量檢測設備市場空間分別為105/120/138/145億美元，CAGR達11.5%，中國大陸半導體量檢測設備市場空間分別為35/41/48/51億美元，CAGR達12.8%。

多系統(tǒng)組合有望成為檢測技術(shù)方向

我們測算，2022年全球光學/電子束/X光檢測設備市場份額分別為74.2%/19.7%/2.2%，光學檢測速度快、無接觸，然而先進節(jié)點檢測靈敏度有限；電子束檢測精度較高，然而速率較慢、設備成本較高；隨著芯片材料和結(jié)構(gòu)復雜性持續(xù)提升，多系統(tǒng)組合有望成為檢測技術(shù)方向。

近年量檢測設備國產(chǎn)替代正在加速

據(jù)VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半導體量檢測設備行業(yè)CR5達82%，KLA歷經(jīng)多次并購，產(chǎn)品種類齊全，2020年KLA量檢測設備全球市占率達51%；ASML將量檢測設備與EUV系統(tǒng)配套，電子束檢測設備競爭優(yōu)勢顯著，據(jù)the information network，2022年ASLM電子束檢測設備全球市占率達50%。目前量檢測設備國產(chǎn)化率較低，本土主要供應商包括上海精測、中科飛測和睿勵儀器，2018-2022年三家公司國內(nèi)市場份額合計0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地緣因素影響下，量檢測設備國產(chǎn)替代正在加速。

關(guān)注本土設備商新品突破及訂單進展

半導體量檢測設備空間廣闊，國產(chǎn)替代正在加速，建議關(guān)注精測電子、中科飛測、中微公司、賽騰股份、天準科技。1）精測電子：立足面板檢測主業(yè)，半導體產(chǎn)品持續(xù)完善，明場檢測設備進展領先；2）中科飛測：聚焦量檢測設備近十年，納米圖形晶圓缺陷檢測、關(guān)鍵尺寸量測等設備加速研發(fā)；3）中微公司：多次增資睿勵儀器，量檢測收入持續(xù)增長；4）賽騰股份：收購日本Optima，布局晶圓檢測設備；5）天準科技：加速布局半導體領域，首臺明場檢測設備已交付客戶試用。首次覆蓋，給予半導體前道量檢測設備行業(yè)“推薦”評級。

風險提示：半導體行業(yè)景氣度復蘇不及預期；半導體設備國產(chǎn)替代不及預期；行業(yè)競爭加劇風險；市場空間測算偏差風險；重點關(guān)注公司業(yè)績不及預期；研究報告使用的公開資料可能存在信息滯后或更新不及時的風險等。

(來源：慧博投研)

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(編輯 曾健輝)