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南大光電：公司已經(jīng)建成25噸的ArF光刻膠生產(chǎn)線，現(xiàn)有小批量訂單生產(chǎn)，目前國內(nèi)缺乏ArF光刻膠規(guī)模量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)

每日經(jīng)濟(jì)新聞 2021-08-15 18:43:30

每經(jīng)AI快訊，南大光電（300346.SZ）8月15日在投資者互動平臺表示，公司已經(jīng)建成25噸的ArF光刻膠生產(chǎn)線，現(xiàn)有小批量訂單生產(chǎn)。目前國內(nèi)缺乏ArF光刻膠規(guī)模量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，產(chǎn)品配套產(chǎn)業(yè)鏈上的諸多技術(shù)難點(diǎn)需要公司技術(shù)部門自主攻關(guān)，解決技術(shù)和工藝瓶頸。

(記者 畢陸名)

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