中微公司：公司開發(fā)的刻蝕設(shè)備能夠覆蓋諸多工藝的制程要求

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問：貴司刻蝕設(shè)備能否滿足先進(jìn)制程邏輯芯片7nm所有需求嗎？或者能覆蓋多少？

中微公司（688012.SH）11月24日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司開發(fā)的刻蝕設(shè)備能夠覆蓋諸多工藝的制程要求。公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及更先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。

(記者 畢陸名)

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