英杰電氣：公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套，也屬于進口替代產(chǎn)品

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司在鍺Ge、硅Si等至第四代Ga2O3、金剛石C等半導體材料方面的電源產(chǎn)品是已經(jīng)有實現(xiàn)銷售了嗎？對應下游客戶是哪一類？ 就是公司公眾號文章說，公司在半導體制程電源方面實現(xiàn)了多個產(chǎn)品的進口替代，其中有包括離子注入機、刻蝕機和薄膜沉積設備的電源嗎？

英杰電氣（300820.SZ）7月4日在投資者互動平臺表示，公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套，也屬于進口替代產(chǎn)品，目前該行業(yè)主流廠商和公司均有業(yè)務。MOVCD設備上的可編程直流電源，公司已經(jīng)實現(xiàn)多年的進口替代，今年在刻蝕、離子注入等工藝環(huán)節(jié)也有進口替代的電源研發(fā)，目前處于樣機后期測試階段。

(記者 畢陸名)

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