天準(zhǔn)科技：天準(zhǔn)參股公司矽行半導(dǎo)體專注于半導(dǎo)體前道晶圓的微觀缺陷檢測設(shè)備，尚未涉足半導(dǎo)體其它設(shè)備

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：了解到公司孫公司MueTec是在半導(dǎo)體宏觀檢測領(lǐng)域、參股聯(lián)營的的蘇州矽行在半導(dǎo)體檢測微觀領(lǐng)域企業(yè)，查詢公司網(wǎng)站公司產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域包含掩模測量，請問貴公司或子公司等在半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域有何技術(shù)儲備和建樹？謝謝

天準(zhǔn)科技（688003.SH）9月12日在投資者互動平臺表示，天準(zhǔn)子公司MueTec專注于半導(dǎo)體前道晶圓量測設(shè)備，主要產(chǎn)品包括套刻誤差量測設(shè)備、掩模版量測檢測設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓紅外量測檢測設(shè)備等；天準(zhǔn)參股公司矽行半導(dǎo)體專注于半導(dǎo)體前道晶圓的微觀缺陷檢測設(shè)備，尚未涉足半導(dǎo)體其它設(shè)備。

(記者 尹華祿)

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