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天準科技:全資子公司MueTec的產品面向半導體前道晶圓的量測與檢測

每日經濟新聞 2023-06-15 16:15:26

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:公司子公司MueTec半導體公司生產的設備Argos系列、Rembrandt系列,是否可在光刻過程中對所有晶圓進行100%的檢測?

天準科技(688003.SH)6月15日在投資者互動平臺表示,公司全資子公司MueTec的產品面向半導體前道晶圓的量測與檢測,其中Argos系列、Rembrandt系列屬于宏觀瑕疵檢測設備,可以實現(xiàn)部分工藝制程的的檢測。

(記者 蔡鼎)

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