每日經濟新聞 2023-05-10 21:17:39
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問公司的自行研發(fā)的面向半導體前道微觀缺陷檢測裝備是納米圖形晶圓缺陷檢測設備還是屬于有圖形晶圓缺陷檢測設備？
天準科技（688003.SH）5月10日在投資者互動平臺表示，公司參股的蘇州矽行半導體有限公司，正在開發(fā)有圖形晶圓缺陷檢測設備，目前已經形成原型樣機，進入內部測試階段。
(記者 畢陸名)
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