江豐電子：公司生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材全面覆蓋了先進制程工藝、成熟制程工藝和特色工藝等領(lǐng)域客戶的需求

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：貴公司有沒有第四代芯片的靶材的相關(guān)研發(fā)、技術(shù)儲備，以及行業(yè)布局？

江豐電子（300666.SZ）3月20日在投資者互動平臺表示，超高純金屬濺射靶材是制造芯片互連導(dǎo)線的關(guān)鍵材料，其基本原理是采用物理氣相沉積（PVD）技術(shù)將超高純金屬原子沉積于晶圓表面形成薄膜，后續(xù)通過光刻、刻蝕等工藝形成芯片互連導(dǎo)線。公司生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材全面覆蓋了先進制程工藝、成熟制程工藝和特色工藝等技術(shù)領(lǐng)域客戶的產(chǎn)品需求。

(記者 王可然)

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