每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-03-20 12:24:01
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:貴公司有沒有第四代芯片的靶材的相關(guān)研發(fā)、技術(shù)儲(chǔ)備,以及行業(yè)布局?
江豐電子(300666.SZ)3月20日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,超高純金屬濺射靶材是制造芯片互連導(dǎo)線的關(guān)鍵材料,其基本原理是采用物理氣相沉積(PVD)技術(shù)將超高純金屬原子沉積于晶圓表面形成薄膜,后續(xù)通過光刻、刻蝕等工藝形成芯片互連導(dǎo)線。公司生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材全面覆蓋了先進(jìn)制程工藝、成熟制程工藝和特色工藝等技術(shù)領(lǐng)域客戶的產(chǎn)品需求。
(記者 王可然)
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