晶升股份：公司早期已成功研發(fā)出液相法的碳化硅長(zhǎng)晶爐并已向多家客戶供應(yīng)

每經(jīng)AI快訊，每經(jīng)AI快訊，晶升股份近日接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)被問(wèn)及明年碳化硅長(zhǎng)晶爐的意向訂單是以PVT法還是液相法為主？對(duì)此，晶升股份表示，采用液相法可通過(guò)摻雜使碳化硅在高溫下變?yōu)橐簯B(tài)。相比PVT法而言，液相法可以觀測(cè)且更便于在長(zhǎng)晶過(guò)程中進(jìn)行干預(yù)。但液相法目前還處于行業(yè)的前期探索研究階段，其核心問(wèn)題是缺乏下游芯片廠的應(yīng)用數(shù)據(jù)積累。公司在早期就成功研發(fā)出液相法的碳化硅長(zhǎng)晶爐并已向多家客戶供應(yīng)，但就明年訂單情況來(lái)看PVT法長(zhǎng)晶設(shè)備仍然占絕大多數(shù)。（每日經(jīng)濟(jì)新聞）