奧普光電：據(jù)我們所知，目前世界范圍內(nèi)封閉式絕對光柵尺的系統(tǒng)精度還在“μm/m"量級

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：老師，貴司曾回答貴司的光柵尺打破壟斷，在國內(nèi)形成了不可替代，為什么蘇大維格的光柵尺精度小于1nm，貴司還在2.5nm呢？貴司不是第一嗎？

奧普光電（002338.SZ）9月19日在投資者互動平臺表示，據(jù)我們所知，目前世界范圍內(nèi)封閉式絕對光柵尺的系統(tǒng)精度還在“μm/m"量級。比如德國海德漢的封閉式絕對光柵尺標(biāo)稱精度是±3μm/m, 禹衡光學(xué)同類產(chǎn)品的批產(chǎn)精度為±3μm/m，最高精度可達(dá)±1μm/m。2.5nm指光柵尺的測量步距，也稱分辨率，而非精度。

(記者 蔡鼎)

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