每日經(jīng)濟新聞 2022-06-24 16:26:13
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，網(wǎng)上看到公布的招標數(shù)據(jù)，至微半導體中標清洗設備2臺，刻蝕設備1臺，是否屬實？公司有做刻蝕設備了？
至純科技（603690.SH）6月24日在投資者互動平臺表示，公司沒有做刻蝕設備，公司濕法設備已覆蓋28NM全工藝段，可用于包括但不限于擴散、光刻、刻蝕、沉積等工藝前后的清洗，并正向更先進制程發(fā)展。
(記者 陳鵬程)
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