北交所上市公司連城數(shù)控新增專(zhuān)利信息授權(quán)：“一種晶圓加工設(shè)備用跨距可調(diào)節(jié)的定心夾緊裝置”

每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，北交所上市公司連城數(shù)控（835368）新增專(zhuān)利信息，專(zhuān)利權(quán)人為連城數(shù)控，發(fā)明人是朱凱、周江輝、唐學(xué)千、金明來(lái)、金敬武、徐杰、王永哲。專(zhuān)利授權(quán)日為2021年12月21日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種晶圓加工設(shè)備用跨距可調(diào)節(jié)的定心夾緊裝置”，專(zhuān)利類(lèi)型為中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202121663471.2。

該專(zhuān)利摘要顯示：本實(shí)用新型提供一種晶圓加工設(shè)備用跨距可調(diào)節(jié)的定心夾緊裝置，包括兩個(gè)滑板導(dǎo)軌、硅棒承載裝置、兩個(gè)夾爪系統(tǒng)和夾爪系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述夾爪系統(tǒng)包括滑板、夾爪導(dǎo)軌、兩個(gè)夾爪和夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述夾爪沿所述夾爪導(dǎo)軌的延伸方向相向或相離運(yùn)動(dòng)?；鍖?dǎo)軌和夾爪導(dǎo)軌的延伸方向垂直設(shè)置，兩個(gè)所述夾爪相對(duì)的面具有呈V型的夾口。本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)將不同直徑規(guī)格的圓柱形晶圓毛坯棒料保持同一中心固定夾緊。且可根據(jù)不同長(zhǎng)度硅棒，調(diào)節(jié)夾緊點(diǎn)跨距，保證晶圓毛坯中軸線水平。

(記者 張弩)

免責(zé)聲明：本文內(nèi)容與數(shù)據(jù)僅供參考，不構(gòu)成投資建議，使用前核實(shí)。據(jù)此操作，風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。