我國稀貴金屬濺射靶材制備已打破國外壟斷

據(jù)云南省科技廳近日消息，云南省貴金屬材料重點實驗室研發(fā)團(tuán)隊在主任胡昌義帶領(lǐng)下，開展電子信息產(chǎn)業(yè)用稀貴金屬濺射靶材的關(guān)鍵制備技術(shù)及工程化應(yīng)用研究，成功制備鎳鉑（NiPt）、鈷鉻鉑硼（CoCrPtB）等靶材和釕（Ru）、鈷鉻鉑二氧化硅（CoCrPt-SiO2）靶。研發(fā)成果申請專利25件，授權(quán)11件，制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項，發(fā)表論文66篇，榮獲2018年中國有色金屬工業(yè)科技進(jìn)步一等獎。據(jù)預(yù)測，未來5年，世界濺射靶材的市場規(guī)模將超過160億美元。此次我國稀貴金屬濺射靶材制備問世，國內(nèi)濺射靶材企業(yè)的成長空間被打開。（觀察者網(wǎng)）