固高科技： 前道設(shè)備這部分的營收目前規(guī)模不大，整體上仍處于批量應(yīng)用部署前期

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：董秘您好，公司的部件、系統(tǒng)在整個半導(dǎo)體設(shè)備的多個工藝單元設(shè)備中都在做積極推進(jìn)，相對而言，后道設(shè)備進(jìn)展較快，整體上進(jìn)入市場批量部署階段。前道設(shè)備中的應(yīng)用推進(jìn)相對滯后一些，整體上仍處于批量應(yīng)用部署前期，目前這部分的營收規(guī)模也不大。請問在半導(dǎo)體前道設(shè)備中的應(yīng)用，這部署前期營收規(guī)模不大的部分，，請問具體是前道光刻設(shè)備的應(yīng)用還是蝕刻、清洗應(yīng)用。謝謝！請解釋具體一些，麻煩了，

固高科技（301510.SZ）9月19日在投資者互動平臺表示，半導(dǎo)體加工工藝復(fù)雜，前道加工主要包括光刻、蝕刻、清洗、沉積等，另外晶硅生長、硅片加工相關(guān)設(shè)備也歸類為前道設(shè)備。 公司的部件、系統(tǒng)類產(chǎn)品在前道加工的多個工藝節(jié)點設(shè)備在做積極的嘗試與應(yīng)用拓展。 前道設(shè)備這部分的營收目前規(guī)模不大，整體上仍處于批量應(yīng)用部署前期，請投資者謹(jǐn)慎評估相關(guān)風(fēng)險。

(記者 蔡鼎)

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