每日經(jīng)濟(jì)新聞 2023-09-14 13:01:10
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問:董秘您好。貴司臭氧設(shè)備可用于光刻膠清洗,半導(dǎo)體清洗、請(qǐng)問貴司有無相關(guān)設(shè)備出貨?后續(xù)有無與光刻廠領(lǐng)域的發(fā)展意向?感謝回復(fù)~!
國(guó)林科技(300786.SZ)9月14日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示,臭氧具有很高的氧化還原電位,具有強(qiáng)氧化特性、高活性的特點(diǎn),近年來臭氧被認(rèn)為是一種低成本的“綠色”化學(xué)品,是大多數(shù)應(yīng)用的良好選擇,已被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)中。典型的臭氧應(yīng)用包括:化學(xué)氣相沉積(CVD)、原子層薄膜沉積(ALD)、晶圓清洗、污染物及光刻膠去除、表面處理和氧化物生長(zhǎng)等工藝制程中。子公司國(guó)林半導(dǎo)體產(chǎn)品從2022年下半年開始進(jìn)行市場(chǎng)導(dǎo)入,2023年以來陸續(xù)在半導(dǎo)體、面板、科研等行業(yè)領(lǐng)域出貨驗(yàn)證,未來公司的工作重點(diǎn)將圍繞產(chǎn)品市場(chǎng)推廣及產(chǎn)品迭代展開。
(記者 蔡鼎)
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