每日經(jīng)濟新聞 2023-09-05 12:53:48
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問,公司是否取得一種光刻機運動軌跡規(guī)劃方法的專利?
固高科技(301510.SZ)9月5日在投資者互動平臺表示,半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備一直是公司技術(shù)、產(chǎn)品的一個重點應(yīng)用領(lǐng)域。公司在2014年曾因控制類技術(shù)、產(chǎn)品在半導(dǎo)體后封裝相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用與對行業(yè)的貢獻(xiàn)獲得國家科技進(jìn)步二等獎。 半導(dǎo)體前道設(shè)備所需的控制、伺服驅(qū)動與系統(tǒng)相關(guān)的技術(shù)、產(chǎn)品,公司也一直在持續(xù)研究、迭代與應(yīng)用部署;公司于23年上半年有獲批一項關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備運動軌跡規(guī)劃的專利《光刻機運動軌跡規(guī)劃方法、裝置、計算機設(shè)備和存儲介質(zhì)》。
(記者 王可然)
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