新三板創(chuàng)新層公司陽光中科新增專利信息授權(quán)：“一種具有高溫帶的ALD噴淋組件”

每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司陽光中科（838982）新增專利信息，專利權(quán)人為陽光中科，發(fā)明人是陳澤其、吳旭榮、陳陽泉、戴亮亮、盧發(fā)樹、柯雨馨、許光榮。專利授權(quán)日為2023年8月29日，專利名稱為“一種具有高溫帶的ALD噴淋組件”，專利類型為中國實(shí)用新型專利，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202222552531.4。

該專利摘要顯示：本實(shí)用新型公開了一種具有高溫帶的ALD噴淋組件，包括基板，用于容置待加工件；鎖緊件，用于ALD(Atomic layer deposition，ALD)工序中ALD噴淋組件的固定；高溫帶，位于所述基板的上表面，用于使ALD噴淋組件和ALD設(shè)備內(nèi)腔體端面緊密貼合；所述ALD噴淋組件，用于PERC(Passivated Emitter and Rear Cell，PERC)太陽能電池的ALD方式氧化鋁膜沉積。因此，本申請(qǐng)實(shí)現(xiàn)了ALD噴淋組件和內(nèi)腔體的端面貼合更好，提高ALD設(shè)備內(nèi)腔體氣密性，提高產(chǎn)線良率，以及改善了內(nèi)腔體端面和ALD噴淋組件沉積過多的氧化鋁。

(記者 曾健輝)

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