每日經濟新聞 2023-07-31 13:29:01
每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問老師,從理論上講,光柵尺是否可以用于DUV光刻機呢?高精尺和超精尺理論上講是否可以EUV光刻機呢?
奧普光電(002338.SZ)7月31日在投資者互動平臺表示,理論上講,超精尺可以應用于DUV或者EUV光刻機。
(記者 蔡鼎)
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