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ASML與比利時微電子研究中心簽署諒解備忘錄,支持高NA半導(dǎo)體研究

2023-06-28 22:46:45

每經(jīng)AI快訊,6月28日,荷蘭光刻機巨頭ASML官網(wǎng)宣布,與比利時微電子研究中心(Imec)簽署諒解備忘錄,將在下一階段加強合作,在IMEC開發(fā)一個最先進的高數(shù)值孔徑(High-NA)極紫外光刻試驗線。諒解備忘錄包括在比利時魯汶的Imec中試線安裝和服務(wù)ASML的全套先進光刻和計量設(shè)備。(每日經(jīng)濟新聞)

責編 張楊運

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