南大光電：公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗證

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問老師，現(xiàn)目前貴司光刻膠驗證轉(zhuǎn)成客戶自驗或者外部機構(gòu)驗證，從理論上講是可以提升一個檔次，用于14nm驗證了。在國內(nèi)先進制程芯片代工企業(yè)，缺陷檢測分析儀器是不缺的，請問貴司現(xiàn)目前有沒打算在14nm制程去驗證呢？

南大光電（300346.SZ）3月21日在投資者互動平臺表示，公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗證，產(chǎn)品質(zhì)檢主要依靠公司購置的光刻機及其他輔助檢測設(shè)備。

(記者 陳鵬程)

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