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南大光電:公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗證

每日經濟新聞 2023-03-21 15:19:00

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問老師,現(xiàn)目前貴司光刻膠驗證轉成客戶自驗或者外部機構驗證,從理論上講是可以提升一個檔次,用于14nm驗證了。在國內先進制程芯片代工企業(yè),缺陷檢測分析儀器是不缺的,請問貴司現(xiàn)目前有沒打算在14nm制程去驗證呢?

南大光電(300346.SZ)3月21日在投資者互動平臺表示,公司ArF光刻膠目前主要集中在90nm-28nm制程工藝的驗證,產品質檢主要依靠公司購置的光刻機及其他輔助檢測設備。

(記者 陳鵬程)

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