晶瑞電材：公司子公司瑞紅（蘇州）電子化學(xué)品股份有限公司共擁有以5臺光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測試平臺

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，請問krf光刻膠是否已經(jīng)進(jìn)入了量產(chǎn)，客戶通過驗證了沒有？另外，arf光刻機(jī)是否21年就已經(jīng)購入？目前研發(fā)進(jìn)展如何？有沒有缺陷檢測儀等相關(guān)設(shè)備？今年arf是否可以投入認(rèn)證？

晶瑞電材（300655.SZ）3月13日在投資者互動平臺表示，公司子公司瑞紅（蘇州）電子化學(xué)品股份有限公司共擁有以5臺光刻機(jī)為核心的光刻膠研發(fā)測試平臺，覆蓋紫外寬譜、g線、i線、KrF及ArF光刻膠檢測，可為公司產(chǎn)品研發(fā)測試、客戶驗證等提供全面的核心設(shè)備保障。公司KrF高端光刻膠部分品種已量產(chǎn)；ArF高端光刻膠研發(fā)工作已啟動。關(guān)于公司產(chǎn)品研發(fā)和客戶認(rèn)證進(jìn)展，請關(guān)注公司定期報告等公告。

(記者 陳鵬程)

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