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我國(guó)科研人員為氧化鎵晶體管找到新結(jié)構(gòu)方案

2023-02-27 07:24:36

每經(jīng)AI快訊，從中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)獲悉，該校微電子學(xué)院龍世兵教授課題組聯(lián)合中科院蘇州納米所加工平臺(tái)，分別采用氧氣氛圍退火和氮離子注入技術(shù)，首次研制出了氧化鎵垂直槽柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管。相關(guān)研究成果日前分別在線發(fā)表于《應(yīng)用物理通信》《IEEE電子設(shè)備通信》上。（科技日?qǐng)?bào)）

責(zé)編 王曉波

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