精測電子：上海精測的主要產(chǎn)品有膜厚量測系統(tǒng)、光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測系統(tǒng)、電子束缺陷檢測系統(tǒng)等

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：請問一下上海精測半導(dǎo)體所生產(chǎn)的檢測機產(chǎn)品屬于納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關(guān)鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）大類嗎？在國際上的產(chǎn)品競爭力如何？

精測電子（300567.SZ）9月21日在投資者互動平臺表示，現(xiàn)階段，上海精測的主要產(chǎn)品有膜厚量測系統(tǒng)、光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測系統(tǒng)、電子束缺陷檢測系統(tǒng)、明場晶圓有圖形缺陷檢測設(shè)備、大硅片應(yīng)力形貌量測設(shè)備等，其中電子束產(chǎn)品主要屬于電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）。

(記者 畢陸名)

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