南大光電：目前公司ArF光刻膠驗(yàn)證重點(diǎn)是90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)問(wèn)老師，如果貴司能購(gòu)買到缺陷檢測(cè)分析儀器，目前貴司的Arf光刻膠能不能提升一個(gè)等級(jí)，用于14nm或者7nm芯片的制造？

南大光電（300346.SZ）9月16日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，目前公司ArF光刻膠驗(yàn)證重點(diǎn)是90nm~28nm制程的工藝節(jié)點(diǎn)。

(記者 曾健輝)

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