炬光科技：公司半導(dǎo)體集成電路晶圓退火系統(tǒng)，主要應(yīng)用于28nm及以下半導(dǎo)體邏輯芯片制造前道工序

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)問(wèn)公司有無(wú)相關(guān)產(chǎn)品應(yīng)用于芯片行業(yè)？主要應(yīng)用于芯片中的哪些環(huán)節(jié)？行業(yè)地位如何？

炬光科技（688167.SH）8月25日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司半導(dǎo)體集成電路晶圓退火系統(tǒng)，主要應(yīng)用于28nm及以下半導(dǎo)體邏輯芯片制造前道工序，即退火工藝。傳統(tǒng)方式是管爐退火，我們提供的是結(jié)合多項(xiàng)產(chǎn)生光子、調(diào)控光子的核心技術(shù)，可生成一條線寬70μm，長(zhǎng)寬比達(dá)160:1的近紅外波段極窄線光斑，提供高達(dá)1800W/mm²的連續(xù)能量輸出，通過(guò)將高能量密度激光照射到晶圓表面，在不到1毫秒的時(shí)間內(nèi)將表層原子層加熱到1000℃以上再急速冷卻，有效減少工序中產(chǎn)生的晶圓電極缺陷，提高產(chǎn)品性能，提升晶圓生產(chǎn)良品率。該系統(tǒng)不僅實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，更實(shí)現(xiàn)進(jìn)口淘汰。

(記者 賈運(yùn)可)

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