新三板創(chuàng)新層公司硅烷科技新增專(zhuān)利授權(quán)：“一種可促進(jìn)區(qū)熔級(jí)多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐”

每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司硅烷科技（838402）新增專(zhuān)利信息，專(zhuān)利權(quán)人為硅烷科技，發(fā)明人是梁正、孟國(guó)均、李建設(shè)、呂永峰、郭蕊、錢(qián)光凝、儀得志、陳源茂、劉紀(jì)江、丁遠(yuǎn)清。專(zhuān)利授權(quán)日為2022年7月1日，專(zhuān)利名稱(chēng)為“一種可促進(jìn)區(qū)熔級(jí)多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐”，專(zhuān)利類(lèi)型為中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利，專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202220547708.9。

該專(zhuān)利摘要顯示：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可促進(jìn)區(qū)熔級(jí)多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐，包括鐘罩和底座；鐘罩為帶有冷卻介質(zhì)夾套的雙層結(jié)構(gòu)，其下部為圓筒型、上部為橢圓形型；底座為帶冷卻介質(zhì)夾套的雙層圓盤(pán)形結(jié)構(gòu)；鐘罩扣在底座上，形成甲硅烷熱分解爐的內(nèi)腔體，且在內(nèi)腔體中設(shè)置有硅棒、甲硅烷供給機(jī)構(gòu)和熱分解冷卻機(jī)構(gòu)，所述硅棒與石墨電極連接，其中熱分解冷卻機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅棒外側(cè)，甲硅烷供給機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅棒與熱分解冷卻機(jī)構(gòu)之間；本分解爐通過(guò)甲硅烷供給機(jī)構(gòu)和熱分解冷卻機(jī)構(gòu)的設(shè)置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)硅棒的均勻吹氣和溫度控制，達(dá)到相變沉積過(guò)程中硅烷均勻供氣與多相界面處反應(yīng)物均勻分布，進(jìn)而提高硅棒的生長(zhǎng)質(zhì)量，使生長(zhǎng)層致密均一，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、控制效果好的特點(diǎn)。

(記者 周宇翔)

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