每日經(jīng)濟(jì)新聞
啟信寶新三板

每經(jīng)網(wǎng)首頁 > 啟信寶新三板 > 正文

新三板創(chuàng)新層公司硅烷科技新增專利授權(quán):“一種可促進(jìn)區(qū)熔級多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐”

2022-07-03 19:07:26

每經(jīng)訊,據(jù)啟信寶,新三板創(chuàng)新層公司硅烷科技(838402)新增專利信息,專利權(quán)人為硅烷科技,發(fā)明人是梁正、孟國均、李建設(shè)、呂永峰、郭蕊、錢光凝、儀得志、陳源茂、劉紀(jì)江、丁遠(yuǎn)清。專利授權(quán)日為2022年7月1日,專利名稱為“一種可促進(jìn)區(qū)熔級多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐”,專利類型為中國實(shí)用新型專利,專利申請?zhí)枮镃N202220547708.9。

該專利摘要顯示:本實(shí)用新型公開了一種可促進(jìn)區(qū)熔級多晶硅均勻致密沉積的硅烷熱分解爐,包括鐘罩和底座;鐘罩為帶有冷卻介質(zhì)夾套的雙層結(jié)構(gòu),其下部為圓筒型、上部為橢圓形型;底座為帶冷卻介質(zhì)夾套的雙層圓盤形結(jié)構(gòu);鐘罩扣在底座上,形成甲硅烷熱分解爐的內(nèi)腔體,且在內(nèi)腔體中設(shè)置有硅棒、甲硅烷供給機(jī)構(gòu)和熱分解冷卻機(jī)構(gòu),所述硅棒與石墨電極連接,其中熱分解冷卻機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅棒外側(cè),甲硅烷供給機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅棒與熱分解冷卻機(jī)構(gòu)之間;本分解爐通過甲硅烷供給機(jī)構(gòu)和熱分解冷卻機(jī)構(gòu)的設(shè)置,能夠?qū)崿F(xiàn)對硅棒的均勻吹氣和溫度控制,達(dá)到相變沉積過程中硅烷均勻供氣與多相界面處反應(yīng)物均勻分布,進(jìn)而提高硅棒的生長質(zhì)量,使生長層致密均一,具有結(jié)構(gòu)簡單、控制效果好的特點(diǎn)。

(記者 周宇翔)

免責(zé)聲明:本文內(nèi)容與數(shù)據(jù)僅供參考,不構(gòu)成投資建議,使用前核實(shí)。據(jù)此操作,風(fēng)險(xiǎn)自擔(dān)。

如需轉(zhuǎn)載請與《每日經(jīng)濟(jì)新聞》報(bào)社聯(lián)系。
未經(jīng)《每日經(jīng)濟(jì)新聞》報(bào)社授權(quán),嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載或鏡像,違者必究。

讀者熱線:4008890008

特別提醒:如果我們使用了您的圖片,請作者與本站聯(lián)系索取稿酬。如您不希望作品出現(xiàn)在本站,可聯(lián)系我們要求撤下您的作品。

歡迎關(guān)注每日經(jīng)濟(jì)新聞APP

每經(jīng)經(jīng)濟(jì)新聞官方APP

0

0

免费va国产高清不卡大片,笑看风云电视剧,亚洲黄色性爱在线观看,成人 在线 免费