華懋科技：徐州博康具備干法ArF光刻膠及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：徐州博康的Arf產(chǎn)品進(jìn)展情況如何？可以介紹一下旗下的相關(guān)產(chǎn)品不？

華懋科技（603306.SH）2月24日在投資者互動平臺表示，徐州博康具備干法ArF光刻膠及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力，產(chǎn)品種類涵蓋了L/S及C/H兩類光刻膠。干法ArF產(chǎn)品HTA13X及HTA12X系列可應(yīng)用至90nm/65nm/55nm工藝節(jié)點，濕法ArF產(chǎn)品HTA11X系列可應(yīng)用至40nm/28nm工藝節(jié)點。

(記者 尹華祿)

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