晶瑞股份：公司的KrF光刻膠完成中試，建成了中試示范線，目前已進(jìn)入客戶測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)問(wèn)貴公司krf和ark光刻膠研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展如何?

晶瑞股份（300655.SZ）6月22日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，您好！公司的KrF光刻膠完成中試，建成了中試示范線，目前已進(jìn)入客戶測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率；公司ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動(dòng)，旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF（193nm）光刻膠，滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場(chǎng)需求。感謝您對(duì)公司的關(guān)注與支持！

(記者 蔡鼎)

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