升級！荷蘭“光刻機巨頭”ASML擴建無錫技術(shù)服務(wù)基地

每經(jīng)記者 朱成祥    每經(jīng)編輯 張海妮    

5月14日，無錫高新區(qū)與阿斯麥（ASML）簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，擴建升級光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無錫）基地。 

據(jù)了解，阿斯麥（ASML）光刻設(shè)備技術(shù)服務(wù)（無錫）基地涵蓋兩大業(yè)務(wù)板塊——技術(shù)中心和供應(yīng)鏈服務(wù)中心。其中，技術(shù)中心擁有近200人規(guī)模專業(yè)團隊，從事光刻設(shè)備的維護、升級等技術(shù)服務(wù)，面積約2000余平方米；供應(yīng)鏈服務(wù)中心則為客戶提供高效的供應(yīng)鏈服務(wù)，為設(shè)備安裝、升級及生產(chǎn)運營等所需的物料提供更高水準的物流支持，面積約2000余平方米。 

眾所周知，光刻機為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，也被譽為“工業(yè)皇冠上的寶石”。而ASML在最近十幾年來異軍突起，超越尼康、佳能，成為光刻機領(lǐng)域執(zhí)牛耳者。目前，最為先進的EUV（極紫外光源）光刻機，全世界僅有ASML一家能夠提供。 

對于ASML在無錫擴建光刻設(shè)備服務(wù)基地，一位半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)人士對《每日經(jīng)濟新聞》記者表示：“因為光刻機比較‘精密’，所以設(shè)備運過來之后，裝調(diào)也是相當(dāng)重要的一個環(huán)節(jié)。一般大件、精密、高價值（的設(shè)備）都得有專人維護著，比如飛機發(fā)動機等，需要有定期的檢修之類。（光刻機）出廠，先船運、空運到安裝地，然后放著等待技術(shù)人員裝調(diào)。以前尼康、佳能的光刻機，光是裝調(diào)就需要幾個月，至少不低于1個月。” 

對于裝調(diào)的重要性，其表示：“光學(xué)設(shè)備和其他裝備不大一樣，光學(xué)設(shè)備一般都有人數(shù)較多的裝調(diào)團隊，并且裝調(diào)也是光學(xué)設(shè)備里面一項重要工作，ASML在193nm就是靠裝調(diào)PK掉了日本的尼康和佳能。” 

該業(yè)內(nèi)人士進一步認為，無錫基地200人的專業(yè)技術(shù)團隊也不一定夠，“（光刻機）這種嬌貴的東西，一般維護都很費勁”。另外，據(jù)其估計，ASML無錫技術(shù)服務(wù)基地將不僅僅服務(wù)無錫，而是整個長三角地區(qū)。 

據(jù)記者不完全統(tǒng)計，目前長三角先進制程（28nm及以下）半導(dǎo)體工廠有中芯國際上海基地（包括中芯南方14nm）、南京臺積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠、合肥長鑫DRAM工廠等。另外，近期華虹半導(dǎo)體無錫基地12英寸生產(chǎn)線實現(xiàn)了高性能90nm FSI工藝平臺產(chǎn)品投片。

封面圖片來源：攝圖網(wǎng)