新三板創(chuàng)新層公司元泰智能新增專利信息授權(quán)：“一種模塊化高效晶圓取料裝置”

每經(jīng)訊，據(jù)啟信寶，新三板創(chuàng)新層公司元泰智能（839156）新增專利信息，專利權(quán)人為元泰智能，發(fā)明人是賀競?cè)?、朱俊杰、杜王杰。專利授?quán)日為2024年8月13日，專利名稱為“一種模塊化高效晶圓取料裝置”，專利類型為中國實用新型專利，專利申請?zhí)枮镃N202323565059.9。

該專利摘要顯示：本實用新型公開了一種模塊化高效晶圓取料裝置，其包括殼體以及設(shè)置在所述殼體上的至少一個取料單元，每個所述取料單元包括驅(qū)動模組以及受所述驅(qū)動模組驅(qū)動進行獨立運動的第一取料叉與第二取料叉，所述第一取料叉與所述第二取料叉呈高度錯位分布且在所述殼體的上方空間內(nèi)進行水平伸縮運動。本實用新型能夠從疊層晶圓料盒中實現(xiàn)多片晶圓的高效取放，提高產(chǎn)能，模塊化設(shè)計應(yīng)用靈活，空間占用小。

(記者 曾健輝)

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