炬光科技：公司的光場勻化器產品應用于國內主要光刻機研發(fā)項目和樣機中

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司目前光刻機零部件供應情況如何，是否與上海微電子有合作？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投資者互動平臺表示，公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統(tǒng)中的核心激光光學元器件——光場勻化器，供應給世界頂級光學企業(yè)A公司，最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備；同時，公司與國內在這一領域的研發(fā)單位有廣泛合作，公司的光場勻化器產品應用于國內主要光刻機研發(fā)項目和樣機中。公司在招股書“與半導體光刻產業(yè)的融合情況”中原文“公司是A公司重要供應商。同時也為中國科學院、上海微電子裝備（集團）股份有限公司、美國科磊半導體等行業(yè)知名半導體集成電路設備科研和生產機構提供相關產品。”

(記者 姚祥云)

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