每日經(jīng)濟新聞 2022-11-11 15:36:41
每經(jīng)AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:您好,ARF光刻膠是中高級芯片制程用量最大的光刻膠,目前國內(nèi)只有i線g線光刻膠實現(xiàn)了量產(chǎn),KRF實現(xiàn)很少量生產(chǎn),而ARF光刻膠基本需要進口。目前國內(nèi)南大光電實現(xiàn)了ARF光刻膠產(chǎn)線建設和送檢適配,并獲得少量訂單,是最可能最早量產(chǎn)的企業(yè)。但公司實現(xiàn)量產(chǎn)似乎仍要假以時日,據(jù)說光刻膠量產(chǎn)需要高質(zhì)量的樹脂、高精度的檢驗設備和DUV光刻機,請問公司當前量產(chǎn)主要困難在哪個環(huán)節(jié)?
南大光電(300346.SZ)11月11日在投資者互動平臺表示,公司ArF光刻膠所需的關鍵配套材料均為自主研發(fā)生產(chǎn),主要檢測設備如光刻機也已正常投入使用。 目前ArF光刻膠仍在驗證中,需要根據(jù)驗證進度和客戶訂單情況確定規(guī)模量產(chǎn)時間。
(記者 陳鵬程)
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