南大光電：公司ArF光刻膠所需的關(guān)鍵配套材料均為自主研發(fā)生產(chǎn)，主要檢測設(shè)備如光刻機也已正常投入使用

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，ARF光刻膠是中高級芯片制程用量最大的光刻膠，目前國內(nèi)只有i線g線光刻膠實現(xiàn)了量產(chǎn)，KRF實現(xiàn)很少量生產(chǎn)，而ARF光刻膠基本需要進口。目前國內(nèi)南大光電實現(xiàn)了ARF光刻膠產(chǎn)線建設(shè)和送檢適配，并獲得少量訂單，是最可能最早量產(chǎn)的企業(yè)。但公司實現(xiàn)量產(chǎn)似乎仍要假以時日，據(jù)說光刻膠量產(chǎn)需要高質(zhì)量的樹脂、高精度的檢驗設(shè)備和DUV光刻機，請問公司當(dāng)前量產(chǎn)主要困難在哪個環(huán)節(jié)？

南大光電（300346.SZ）11月11日在投資者互動平臺表示，公司ArF光刻膠所需的關(guān)鍵配套材料均為自主研發(fā)生產(chǎn)，主要檢測設(shè)備如光刻機也已正常投入使用。 目前ArF光刻膠仍在驗證中，需要根據(jù)驗證進度和客戶訂單情況確定規(guī)模量產(chǎn)時間。

(記者 陳鵬程)

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