上海新陽(yáng)：公司采購(gòu)的ASMLXT1900Gi型光刻機(jī)尚處于調(diào)試狀態(tài)

每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：請(qǐng)問(wèn)：21年3月芯刻微購(gòu)買(mǎi)，用于研發(fā)分辨率達(dá)28nm ArF濕法光刻膠的ASMLXT1900Gi型二手光刻機(jī)安裝調(diào)試是否完成？這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值多少? 另外28nm ArF濕法光刻膠研發(fā)進(jìn)展如何是否有送樣客戶(hù)端驗(yàn)證？

上海新陽(yáng)（300236.SZ）8月19日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司采購(gòu)的ASMLXT1900Gi型光刻機(jī)尚處于調(diào)試狀態(tài)；ArF浸沒(méi)式光刻膠產(chǎn)品已有樣品在測(cè)試階段。

(記者 陳鵬程)

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