王曦院士:“頂天立地”做科研

“頂天立地”做科研——記中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士王曦院士展示他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)生產(chǎn)的光潤(rùn)無(wú)瑕、晶瑩透剔的“三明治”SOI圓片（8月22日攝）?！　〈┥蟽艋?、戴上口罩、經(jīng)過(guò)強(qiáng)風(fēng)的“風(fēng)淋”后，記者走進(jìn)了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。展現(xiàn)在眼前的是一個(gè)擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機(jī)器之間穿梭忙碌。這里是我國(guó)最先進(jìn)的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發(fā)平臺(tái)，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士為之奮斗十多年的地方。　　新華社記者 劉穎 攝

穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過(guò)強(qiáng)風(fēng)的“風(fēng)淋”后，記者走進(jìn)了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

展現(xiàn)在眼前的是一個(gè)擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機(jī)器之間穿梭忙碌。

這里是我國(guó)最先進(jìn)的高端硅基集成電路晶圓片材料ＳＯＩ研發(fā)平臺(tái)，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士為之奮斗十多年的地方。

這些看上去光潤(rùn)無(wú)瑕、如同一面面灰色圓鏡的ＳＯＩ材料，專業(yè)名稱叫“絕緣體上的硅”，是國(guó)際公認(rèn)的２１世紀(jì)新一代硅基材料，在低壓、低高溫電路、耐高溫電路、微機(jī)械傳感器、光電集成等方面都有重要應(yīng)用。

早在２０世紀(jì)８０年代初，中科院就已經(jīng)開(kāi)始ＳＯＩ技術(shù)研究，但僅僅停留在論文上，從沒(méi)有走出實(shí)驗(yàn)室。眼看國(guó)際上ＳＯＩ產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù)突飛猛進(jìn)，１９９８年，王曦放棄國(guó)外優(yōu)越生活，毅然回國(guó)挑起了中科院ＳＯＩ項(xiàng)目的“大梁”。

“現(xiàn)在回想起來(lái)，當(dāng)時(shí)選擇回國(guó)，是我人生中最為重要的一個(gè)正確決定。作為一名科研人員，只有回到祖國(guó)的懷抱，才能腳踏實(shí)地去探索，才能實(shí)現(xiàn)自己的志向，才會(huì)大有作為。”王曦說(shuō)。

為了盡快趕上國(guó)際先進(jìn)水平，王曦帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì)通宵達(dá)旦地在實(shí)驗(yàn)室里加班加點(diǎn)，他們采用工程化管理，每個(gè)階段都設(shè)定了指標(biāo)。“離子注入”是王曦鉆研多年的ＳＯＩ材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)?；貒?guó)后，王曦成功地利用創(chuàng)新技術(shù)完成了ＳＯＩ材料技術(shù)工程化研究，建立了生產(chǎn)線。

剛開(kāi)始，生產(chǎn)線上做出來(lái)的ＳＯＩ硅片瑕疵斑點(diǎn)很多，如同一片片“麻餅”。經(jīng)過(guò)漫長(zhǎng)的艱苦跋涉、晝夜奮戰(zhàn)，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)終于生產(chǎn)出一個(gè)個(gè)光潤(rùn)無(wú)瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。

“王老師工作極其認(rèn)真細(xì)致、精益求精，大至行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)、課題研究方向，小到學(xué)生們每一篇論文的標(biāo)點(diǎn)符號(hào)，他都事無(wú)巨細(xì)親自把關(guān)。因此，他每天的時(shí)間總是排得滿滿的，我們經(jīng)常在半夜里收到他的電子郵件。”王曦的學(xué)術(shù)秘書俞文杰說(shuō)。

創(chuàng)建公司、將ＳＯＩ材料產(chǎn)業(yè)化是王曦人生中第二個(gè)重要選擇。２００１年，在國(guó)家有關(guān)部委和中科院領(lǐng)導(dǎo)的支持下，王曦帶領(lǐng)ＳＯＩ項(xiàng)目組骨干創(chuàng)建了上海新傲科技有限公司，從“科學(xué)家”轉(zhuǎn)型為“企業(yè)家”。

２００２年，中國(guó)第一批商業(yè)化生產(chǎn)的ＳＯＩ圓片問(wèn)世，這讓美國(guó)硅谷驚呆了。當(dāng)?shù)亍栋雽?dǎo)體商業(yè)新聞》曾驚呼：就像在一夜之間，中國(guó)“突然冒出了一個(gè)現(xiàn)代化的高端集成電路硅基片企業(yè)”。

２００６年，王曦負(fù)責(zé)的“高端硅基ＳＯＩ材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，在關(guān)鍵技術(shù)上取得一系列重大創(chuàng)新，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利３２項(xiàng)，并已獲授權(quán)１６項(xiàng)。

經(jīng)過(guò)十多年創(chuàng)業(yè)，目前新傲公司已成為我國(guó)國(guó)內(nèi)唯一、國(guó)際屈指可數(shù)的ＳＯＩ生產(chǎn)基地，總資產(chǎn)已超過(guò)３億元。

“走出實(shí)驗(yàn)室，創(chuàng)業(yè)遠(yuǎn)非想象的那么簡(jiǎn)單。”王曦說(shuō)，“當(dāng)時(shí)只是朦朧地感覺(jué)到，我們的產(chǎn)品會(huì)有市場(chǎng)，卻不知道市場(chǎng)究竟在哪里，市場(chǎng)前景究竟怎樣。從一名科學(xué)家轉(zhuǎn)型為企業(yè)家，我們首先要完成從‘技術(shù)為上’到‘市場(chǎng)為先’的蛻變。”

就在接受新華社記者采訪前，王曦剛剛進(jìn)行了兩個(gè)項(xiàng)目的洽談。“一個(gè)項(xiàng)目是在芯片上嵌入運(yùn)動(dòng)傳感器技術(shù)，另一個(gè)項(xiàng)目是在芯片上嵌入光傳感器技術(shù)，這些技術(shù)都將大大增加芯片的附加值。”王曦說(shuō)。

“當(dāng)選為十八大代表，是我人生中極大的光榮和驕傲。”王曦說(shuō)，“作為一名科研人員，我們一定要緊緊圍繞國(guó)家戰(zhàn)略樹(shù)立‘頂天立地’做科研的理念。‘頂天’就是要在基礎(chǔ)研究方面與世界同步，‘立地’就是要在產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化方面扎得深、做得好。”